欧美无限看_欧美噜噜_欧美国产日韩一区二区_妞干网福利视频_91色综合综合热五月激情_国产亚洲精品午夜一区

CRF plasma 等離子清洗機(jī)

支持材料 測(cè)試、提供設(shè)備 試機(jī)

20年專注等離子清洗機(jī)研發(fā)生產(chǎn)廠家

咨詢熱線
136 3268 3462

CMOS工藝中等離子體發(fā)生器損傷WAT試驗(yàn)

CMOS工藝中等離子體發(fā)生器損傷WAT試驗(yàn):
       WAT(WaferAcceptTest)也就是說(shuō),硅片接收測(cè)試是在半導(dǎo)體硅片完成所有工藝后,對(duì)硅片上的各種測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行電氣測(cè)試。它是反映產(chǎn)品質(zhì)量的手段,也是產(chǎn)品入庫(kù)前的最后一次質(zhì)量檢驗(yàn)。
       隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,等離子體技術(shù)已廣泛應(yīng)用于集成電路制造、離子注入、干刻蝕、干去膠等領(lǐng)域,UV等離子體損傷可能導(dǎo)致輻射、薄膜積累等,而傳統(tǒng)的WAT結(jié)構(gòu)無(wú)法監(jiān)測(cè),可能導(dǎo)致設(shè)備早期故障。

等離子體發(fā)生器


       CRF等離子體發(fā)生器廣泛應(yīng)用于集成電路制造中,比如等離子體發(fā)生器刻蝕、等離子體增強(qiáng)式化學(xué)氣相淀積、離子注入等。它具有方向性好、反應(yīng)快、溫度低.均勻性好等優(yōu)點(diǎn)。
       但同時(shí)也帶來(lái)了電荷損傷,由于它能影響固定電荷密度、界面狀態(tài)密度、平帶電壓、漏電流等參數(shù),因此隨著柵氧化層厚度的不斷降低,這種損傷會(huì)對(duì)MOS設(shè)備的可靠性產(chǎn)生越來(lái)越大的影響。
       帶天線器件結(jié)構(gòu)的大面積離子收集區(qū)(多晶或金屬)一般位于厚的場(chǎng)氧之上,因此只需要考慮薄柵氧上的隧道電流效應(yīng)。大面積的收集區(qū)稱為天線,帶天線器件的隧道電流放大倍數(shù)等于厚場(chǎng)氧上的收集區(qū)面積與柵氧區(qū)面積之比,稱為天線比。如果柵氧區(qū)較小,而柵極面積較大,大面積柵極收集到的離子將流向小面積的柵氧區(qū),為了保持電荷平衡,由襯底注人柵極的隧道電流也需要隨之增加,增加的倍數(shù)是柵極與柵氧面積之比,放大了損傷效應(yīng),這種現(xiàn)象稱為“天線效應(yīng)”。
       對(duì)于柵注入的情況,隧道電流和離子電流之和等于等離子體中總的電子電流。因?yàn)殡娏骱艽螅词箾](méi)有天線的放大效應(yīng),只要柵氧化層中的場(chǎng)強(qiáng)能產(chǎn)生隧道電流,就會(huì)引起等離子體損傷。
       在正常的電路設(shè)計(jì)中柵端一般都需要開(kāi)孔經(jīng)多晶或金屬互連線引出做功能輸入端,就相當(dāng)于在薄弱的柵氧化層上引入了天線結(jié)構(gòu),所以在正常流片及WAT監(jiān)測(cè)時(shí)所進(jìn)行的單管器件電性測(cè)試和數(shù)據(jù)分析無(wú)法反映電路中實(shí)際的等離子體損傷情況。
       氧化層繼續(xù)變薄到3nm下面,充電損傷基本上不用考慮,因?yàn)閷?duì)于3,nm就氧化層厚度而言,電荷積累是直接隧道穿越過(guò)氧化層的勢(shì)壘,不會(huì)在氧化層中產(chǎn)生電荷缺陷。

相關(guān)等離子產(chǎn)品
等離子新聞
主站蜘蛛池模板: 偷拍自拍亚洲 | 亚洲综合在线视频 | 色综合天 | 九九综合九九综合 | 亚洲欧美国产另类视频 | 亚洲精品久久久久无码AV片软件 | 天天操夜夜操夜夜操 | 精产国产伦理一二三区 | 色综合久久中文字幕综合网 | 国产真人做爰视频免费 | 成人国产激情福利久久精品 | 欧美精品一区二区免费 | 91久久线看在观草草青青 | 久久三区 | 精久久久| 色婷婷精品 | 欧美一区二区三区在观看 | 亚洲一区二区中文字幕 | 久久精品免费一区二区三 | 边摸边吃奶边做激情叫床文章 | 在线观看免费黄色小视频 | a视频在线观看 | 日韩精品一区二区在线观看 | 久久久久免费观看 | 猫鼠游戏电影在线观看免费版 | 亚洲黄色激情 | 日韩欧美在线中文字幕 | 一级毛片国产真人永久在线 | 国产一区二区三区免费 | 国产在线综合一区二区三区 | 欧美黑人狂野猛交老妇 | 久久在线视频 | 久精品视频 | 成人三区四区 | av国产精品| 国产在亚洲线视频观看 | 亚洲热久久 | 久久综合久色欧美综合狠狠 | 国产综合50p| 日本中文字幕在线视频 | 一级做a视频|