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CRF plasma 等離子清洗機

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微電子電路封裝中等離子清洗機的背景分析及其應(yīng)用

       在觸摸屏、電子顯示屏等產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中,以往顯示器與柔性薄膜電路的連接采用熱壓法,將柔性薄膜電路直接貼在LCD帶接線點玻璃上,等離子清洗機技術(shù)要求玻璃平面清潔,但在實際生產(chǎn)、倉庫、運輸過程中,玻璃表面易受污染由這些表面雜質(zhì)微粒引起短路一段時間后,會使LCD的顯示段失靈,通常表現(xiàn)為:顯示缺失或顯示紊亂。此外,由于膜電路及玻璃表面張力不高而引起的粘接不良也會引起故障。要解決這個問題,傳統(tǒng)的方法是用棉棒和清潔劑,靠人工對LCD玻璃進行人工清洗,用等離子體技術(shù)清洗LCD玻璃,可以去除雜質(zhì)微粒,提高材料表面能量,使產(chǎn)品的成品率出現(xiàn)數(shù)量級提高。另外,由于射流低溫等離子體是電中性的,在處理過程中不會對保護膜、ITO膜層造成損害,且不需溶劑,更環(huán)保。

等離子清洗機

等離子清洗機在微電子電路封裝中的應(yīng)用如下:
(1)先點銀膠。底板上的污染物會使銀膠呈球形,不利于芯片粘貼,容易在芯片上造成手工劃傷。射頻等離子清洗可以大大提高工件表面的粗糙度和親水性,有利于銀膠的鋪設(shè)和芯片粘貼,大大節(jié)約銀膠的用量。
(2)引線鍵的前面。晶片粘接于基片后經(jīng)高溫固化,其中含有微粒及氧化物等,這些污染物從物理和化學(xué)過程中使引線與芯片及基板之間焊接不全或粘附不良,導(dǎo)致粘接強度不足。對引線連接前進行射頻等離子清洗,可明顯提高其表面活性,從而提高鍵合強度和鍵合引線的拉伸均勻性。連接刀頭的壓力可以較低(有污染物時,鍵合頭要穿透污染物,需要較大的壓力),有時,鍵合溫度也可降低,從而提高產(chǎn)量,降低成本。
(3)前LED封膠。環(huán)氧樹脂膠LED注塑過程中,污染物會引起氣泡成泡率偏高,從而導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量和使用壽命降低,因此避免封膠中氣泡的形成同樣是人們關(guān)心的問題。
       經(jīng)過射頻等離子清洗后,晶片與基底更緊密地結(jié)合在一起,可大大減少氣泡的形成,同時還能顯著提高散熱率和發(fā)光效率。

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