plasma等離子處理PDMS，提升附著力：

       PDMS其具有硅橡膠的諸多特征。如無色、透明度好、粘度范圍廣、耐高低溫、耐輻射、表面張力低、壓縮比高、絕緣性高、疏水性高、光澤度高、材料惰性、化學生理惰性等。它還具有很強的吸附性，易于吸附蛋白質(zhì)和疏水分子。這將導致PDMS成分損失和表面性質(zhì)的變化。其導熱性低，焦耳熱不易丟失，對非極性物質(zhì)吸附能力強，易受環(huán)境污染，特別是表面固有的高疏水性，極大地限制了微流控芯片的實用性。PDMS交聯(lián)和固化通過預聚物的聚合。PDMS小分子預聚物仍然很多，很難將水溶液引入PDMS通過自身的毛細管力很難引入微通道。自然疏水是PDMS最明顯的特征。

        plasma等離子處理PDMS微流控，一般來說，用plasma等離子處理材料的表面會氧化或交聯(lián)。空氣，CO其它氣體會被氧化PDMS聚合物表面產(chǎn)生含氧基團，惰性氣體產(chǎn)生含氧基團PDMS表面產(chǎn)生自由基點，激活聚合物表面。

        當?shù)入x子體作用于固體表面時，會發(fā)生蝕刻，即去除暴露的表面物質(zhì)和原表面污染物產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體物質(zhì)，固體表面變得粗糙，形成許多小凹凸，增加樣品的比表面積，PDMS大部分鍵能為0~10eV，等離子體中的粒子能量為0~20eV。因此，等離子體暴露在固體表面后，材料表面的化學鍵被足夠的能量打斷，產(chǎn)生自由基，形成網(wǎng)狀交聯(lián)結(jié)構(gòu)，得到加強PDMS表面活動。如果引入反應性氣體，等離子體激活的物質(zhì)表面與反應性氣體之間會發(fā)生一些復雜的化學反應，產(chǎn)生氨基、烴基、羧基等新的活性基團，對材料的表面活性有顯著影響。
        誠峰等離子體的處理方法是在真空中，氣體被高頻發(fā)生器電離，產(chǎn)生等離子體（物質(zhì)的第四狀態(tài)）。等離子體是由一些電子剝離原子和電離產(chǎn)生的正負電子組成的電離氣體物質(zhì)。它是除固體、液體和氣體外的第四種物質(zhì)狀態(tài)。這些高活性粒子與處理材料的表面相互作用，激活惰性聚合物的表面，增強親水性，增強界面的相互作用，使單層分子更容易擴散到其表面，從而修改PDMS基體表面最終與各種材料鍵合。