工業(yè)中產(chǎn)生的等離子體刺激頻率為40kHz，13.56MHz和2.45GHz等離子清洗設(shè)備：
plasma的密度與設(shè)備的起弧頻率有關(guān)系：
nc=1.2425×108v2

其中ncplasma密度（cm-3），v為激發(fā)頻率（Hz）。
分為三種常用的等離子體激發(fā)頻率：40個(gè)kHz中頻plasma，13.56MHz為射頻等離子體，2.45GHz微波等離子體清洗設(shè)備。
不同類型的等離子體形成不同類型的自偏壓。超聲等離子體的自偏壓為10000V低溫寬度等離子清洗機(jī)射頻等離子體自偏壓約為250V左右兩側(cè)，微波等離子體的自偏壓很低，只有幾十伏，三個(gè)等離子體的機(jī)制不同。超聲波等離子體的反應(yīng)是物理反應(yīng)，射頻等離子體的反應(yīng)既是物理反應(yīng)又是化學(xué)反應(yīng)，微波等離子體的反應(yīng)是化學(xué)反應(yīng)。超聲波等離子清洗設(shè)備對(duì)清洗表面影響較大，因此射頻等離子清洗和微波等離子清洗多用于實(shí)際半導(dǎo)體生產(chǎn)。
等離子清洗設(shè)備電子點(diǎn)火器線圈骨架密封環(huán)氧樹(shù)脂膠預(yù)備處理，進(jìn)一步提高附著力和附著力。通過(guò)等離子體接枝處理，引入醛基、氨基、環(huán)氧基等活性功能，將酶牢固定在載體上，提高酶的固定性；等離子體處理后，細(xì)胞培養(yǎng)皿大大提高了壁培養(yǎng)細(xì)胞的能力。生物芯片技術(shù)的電極碳膜通過(guò)等離子體活化，提高了酶和抗體固定的穩(wěn)定性，實(shí)現(xiàn)了電極的再利用。血漿分離器的內(nèi)壁和濾芯都需要等離子體的抗凝處理，以提高過(guò)濾能力和使用壽命。