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CRF plasma 等離子清洗機

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誠峰智造-CRF_等離子清洗機是怎樣快速清(除)物件表面的殘留膠渣

誠峰智造-CRF_等離子清洗機是怎樣快速清(除)物件表面的殘留膠渣:
       誠峰智造-CRF_等離子清洗機應用包括處理、灰化/光刻膠/聚合物去除、介電質刻蝕等等。CRF-等離子清洗機不僅能完全清除光刻膠等有(機)物,還能活(化)單晶硅片表面,改善單晶硅片表面的滲透性。僅需簡單地對等離子清洗裝置進行處理,就可清除(完全)自由基高分子聚合物,包括隱藏在非常深而尖細的溝槽中的聚合物。達到其他清理方式很難完成的效(果)。 

等離子清洗機


       在半導體元器件的生產過程中,單晶硅片芯片表面會有各種顆粒、金屬離子、有機物和殘留物等污染雜質。為了避免污染物對芯片處理性能的嚴重影響和缺陷,半導體單晶硅片在制造過程中需要經過多次表面清洗步驟,而誠峰智造-CRF_等離子清洗機是單晶硅片光刻膠的理想清洗設備。
        電漿是通過電場加速,在電場作用下高速運動,使物體表面發生物理碰撞,產生足夠的等離子能量來清除各種污染物。誠峰智能制造-CRF_等離子清洗機不需要其他原材料,只要空氣能滿足要求,使用方便,無污染。同時,它比超聲波清洗更有優勢。等離子不僅可以清洗表面,還可以提高表面活性。等離子體與物體表面的化學反應能產生有活力的化學物質。這些化學集團活性高,應用廣泛,如提高材料表面粘接能力、焊接能力、邦定性、親水性等。

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