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CRF plasma 等離子清洗機

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plasma清洗工藝主要適用范圍和特性

plasma清洗工藝主要適用范圍和特性:
1.plasma清洗:為了提升器具、模具等的性能,需要用等離子體滲透金屬表面的氮、碳、硼、碳氮。該方法的特點是,不是在表面入復蓋層,而是改變基體表面的材料結構及其性能。在處理過程中,工件溫度低,不使工件變形對精密零件很重要。該方法可應用于各種金屬基體,主要有輝光放電氮、氮碳滲透、硼滲透。

plasma清洗

2.等離子體在電子工業中的應用:大規模集成電路芯片的生產技術,過去采用化學方式,用plasma清洗方法代替后,不僅降低了工藝中的溫度,還將涂膠、顯影、腐蝕、除膠等化學濕法改為等離子體干法,使技術更加簡單,實現自動化等離子體用于材料表面改性,主要包括以下幾個方面:
①改變潤濕性(也稱為潤濕性)。有機化合物表面的潤濕性對顏料、墨水、粘合劑等的粘結性、材料表面的閃光電壓和表面泄漏電流等電氣性能有很大影響。測定潤濕性的量稱為接觸角。
②增強粘合力。用plasma清洗活化氣體處理一些聚合物和金屬后,可以增強材料和粘合劑的結合強度。緣由多半是聚合物表面的交聯提升了邊界層的粘合力;或在等離子體處理環節中引入偶極子,提高了聚合物表面的附著強度;也可能是等離子體處理消除了聚合物表面的污垢,改善了附著條件。電暈處理也有同樣的效果。

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