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CRF plasma 等離子清洗機

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金屬產品經過等離子清洗機處理后發生變色?誠峰智造告訴你是怎么回事

半導體封裝行業,包括集成電路、分立器件、傳感器和光電子的封裝,常常會用到金屬材質的引線框架,為提高鍵合和封塑的可靠性,一般會把金屬支架過等離子清洗機處理幾分鐘,以清除表面的有機物、污染物,增加其可焊性、粘接性。但有時候我們會發現,金屬支架在等離子清洗機的真空環境下處理不當,容易出現表面變色、發黑,嚴重的甚至是燒板等現象。難道是因為腔體里面空氣沒有抽干凈,殘余空氣中氧分子被激發,形成氧等離子體與金屬表面發生化學反應而形成氧化的結果?原因會是這樣嗎? 

1 等離子清洗機真空度對產品清洗效果和變色的影響

等離子清洗機真空度關聯因素包括真空腔體漏率、背底真空、真空泵的抽速和工藝氣體的進氣流量等。真空泵抽速快,背底真空值越低,說明里面殘留的空氣越少,銅支架與空氣里面的氧等離子體反應的機會就越少;當工藝氣體進入,形成的等離子體可以充分與銅支架反應,沒有被激發的工藝氣體可以把反應物帶走,銅支架清洗效果會好,不容易變色。

2 等離子清洗機電源功率對產品清洗效果和變色的影響

等離子清洗機電源功率關聯因素包括能量功率大小和單位功率密度。電源功率越大,等離子體能量就越高,對產品的表面轟擊力越強;同等功率的情況下,處理的產品數量越少,單位功率密度就越大,清洗的效果就越好,但有可能會造成能量過大,板面變色或者燒板。

3 等離子清洗機電場分布對產品清洗效果和變色的影響

等離子清洗機的等離子電場分布關聯因素包括電極結構、氣體流向和金屬產品的擺放位置等相關。不同處理材料、工藝需要以及產能要求,對電極結構的設計是不一樣的;氣體流向會形成一個氣場,對等離子體的運動、反應、均勻性都會有影響;產品的擺放位置,會影響到電場和氣場特性,導致能量分配不均衡,局部等離子密度過大而燒板。

除了以上幾個因素外,實踐證明等離子清洗機的處理時間、電源頻率、載具類型等對產品的處理效果和變色也是有影響的。

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