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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

支持材料 測(cè)試、提供設(shè)備 試機(jī)

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談?wù)務(wù)婵盏入x子清洗設(shè)備的選擇需要從幾個(gè)方面考慮

       真空等離子清洗設(shè)備誕生在20世紀(jì)初,近年來(lái)已在眾多高新技術(shù)領(lǐng)域中,占據(jù)了關(guān)鍵技術(shù)的地位。等離子清洗設(shè)備技術(shù)率先推動(dòng)了電子信息行業(yè)的發(fā)展,特別是半導(dǎo)體和光電行業(yè)的發(fā)展。由于等離子清洗機(jī)在很多的行業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用,今天我們來(lái)談?wù)務(wù)婵盏入x子清洗設(shè)備該如何選擇?在真空等離子清洗設(shè)備的選擇上,主要從以下幾個(gè)方面考慮。
一、腔體容量
1、工件容量:
       一般來(lái)說(shuō),真空等離子清洗機(jī)的分類主要是根據(jù)腔體的大小和腔體的材料來(lái)劃分的,在選擇腔體的大小時(shí),首先要考慮的是工件的大小,也就是說(shuō),至少要能把工件放下,如果工件連放都放不下,再考慮其素也沒什么意義。
2、生產(chǎn)能力:
       對(duì)于生產(chǎn)能力要求高的物品,必須根據(jù)生產(chǎn)能力選擇腔體容量。腔體容量越大,每次加工處理的物品越多。如果生產(chǎn)能力要求不高,工件容量應(yīng)優(yōu)先考慮。在可降件的情況下,根據(jù)其生產(chǎn)能力計(jì)算出比較適合的腔體容量。

真空等離子清洗設(shè)備


二、選擇什么頻率的真空等離子清洗設(shè)備。
       近年來(lái)較為常用的頻率有40KHz,13.56MHz,20Mhz。40kHz的自偏壓約為1000伏,13.56兆赫的自偏壓約為250伏,20兆赫的自偏壓較低。激發(fā)頻率的機(jī)制各不相同。40兆赫的反應(yīng)是物理反應(yīng),13.56兆赫的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)。20兆赫有物理反應(yīng),但更重要的是化學(xué)反應(yīng)。
三、腔體材質(zhì)選擇
       近年來(lái)較為常用的腔材料有石英腔、不銹鋼腔、鋁合金腔等,石英腔溫度低,不易發(fā)生反應(yīng)。鋁型材的優(yōu)點(diǎn):鋁型材密度低,強(qiáng)度高,優(yōu)于鋼,加工性能好。鋁具有良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱和抗腐蝕性能。該材料具有良好的化學(xué)反應(yīng)相容性,不容易產(chǎn)生金屬污染、無(wú)污染等。

真空等離子清洗設(shè)備


四、真空泵選擇
       究竟是選用國(guó)產(chǎn)的還是進(jìn)口的,是單級(jí)泵還是油泵,是單級(jí)泵還是雙極泵,可根據(jù)客戶的實(shí)際需求來(lái)選擇每一臺(tái)真空泵,這里就不多說(shuō)了。
五、氣路選擇
       真空等離子體清洗設(shè)備都是兩通道,但這不能滿足所有的處理要求。如果需要更多的反應(yīng)氣體,氣體通道應(yīng)適當(dāng)增加,這也是根據(jù)用戶的實(shí)際需要選擇多通道。
     以上是小編從五個(gè)方面來(lái)對(duì)真空等離子清洗設(shè)備該如何選擇做了闡述。

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