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CRF plasma 等離子清洗機

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Plasma清洗,什么情況下要用到AR?

       Plasma清洗機采用多種工藝氣體。氧氣、氫氣、氮氣和壓縮空氣通常用于表面清潔和活化,但氬氣也可以根據不同的工藝要求使用。
       那么,為什么要使用這種氣體呢?它在Plasma清洗中的主要功能是什么?今天就和大家分享一下氬在真空等離子體清洗機中的應用知識,供大家參考。
一、概述
      氬簡稱氬,英文名為Argon,化學風格為Ar,是一種無色無味的惰性氣體。它通過高壓氣瓶運輸和儲存,主要用于金屬電弧焊和工業切割保護。
      氬是一種惰性氣體。離子體電離后產生的離子不會與基底發生化學反應。在等離子體清洗中,主要用于基體表面的物理清洗和表面粗糙化。最大的特點是用于表面清洗。精密電子設備的表面不會氧化。正因為如此,氬等離子體清洗機在半導體、微電子、晶圓制造等行業得到了廣泛的應用。

Plasma清洗

二、輝光放電的顏色
      真空Plasma清洗機中氬氣電離產生的等離子體是暗紅色的。在相同的放電環境下,氫氣和氮氣產生的等離子體顏色為紅色,但氬等離子體的亮度低于氮氣,高于氫氣,容易區分。


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