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CRF plasma 等離子清洗機

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plasma等離子清洗機其電離的粒子都是哪些

plasma等離子清洗機其電離的粒子都是哪些:
       存在于我們周圍的物質有三種形態:固態、液態及氣態,等離子體通常被稱為物質的第四態。普通氣體由電中性的分子或原子組成,電離氣體是電子、離子、原子、分子或自由基粒子組成的集合體,其中的正電荷和負電荷總數在數值上總是相等的。
基于此種等離子體構成,電離氣體表現出以下2種性質:
1、電離氣體是一種導電流體,而又能在與氣體體積相比擬的宏觀尺度內維持電中性;
2、電離氣體帶電粒子之間存在庫侖力,由此導致帶電粒子群的種種整體運動行為會受到磁場的影響和支配

plasma等離子清洗機

        產生等離子體的方式很多,自然方法存在于宇宙天體間及上層大氣,人工方法- -般為放電方式、放射線方式、真空紫外光、激光、燃燒、沖擊波、場致電離等。
        放電方式又包括直流放電、低頻放電高頻放電、微波及感應方式等。我們在設備上應用最多的是利用13.56MHz高頻電源產生輝光放電,在不同的反應室條件中,實現各種的不同的反應機理,從而產生不同的工藝效果。plasma等離子清洗機技術最重要的優勢在于它的多功能性,plasma等離子清洗機可用于多種材料的表面活化、清洗、刻蝕和沉積


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