欧美无限看_欧美噜噜_欧美国产日韩一区二区_妞干网福利视频_91色综合综合热五月激情_国产亚洲精品午夜一区

CRF plasma 等離子清洗機

支持材料 測試、提供設備 試機

20年專注等離子清洗機研發生產廠家

咨詢熱線
136 3268 3462

超光滑基片基于電漿清洗機的應用研究

超光滑基片基于電漿清洗機的應用研究:
       電漿清洗機可以濺射去除加工變質層,降低表面粗糙度,提高基片表面潔凈度和表面能.優化后的參量證實, 經等離子處理的基片比未經電漿清洗機處理的基片鍍膜后損耗平均降低34.2ppm,并且顯示出良好的一致性。

電漿清洗機


       近年來隨著半導體技術和光學技術的飛速發展,超光滑表面的應用日益廣泛,對超光滑表面質量的要求也越來越高。在激光陀螺制造中,反射鏡基片的加工質量直接影響鍍膜后反射鏡的光學性能和光學元件間的光膠質量,進而影響陀螺的準確度穩定性和可靠性。
       目前,超光滑表面主要是通過拋光獲得,由于加工特性及環境因素,拋光后的超光滑表面吸附有大量顆粒有機質等污染物,并且通過瀝青拋光工藝獲得的光學表面是一個“偽表面”,即存在加工變質層,它是由流變層損傷層及水解物層等構成的。
“偽表面”內部有大量缺陷,活性高,在鍍膜過程中極易成為成核中心,嚴重影響了膜層的物理結構,從而對反射鏡光學性能產生很大影響。
       為了描述真實表面,把表面分為:外表面層(污染物、吸附層)和內表面層(加工變質層)。傳統表面處理主要采取刷洗和超聲波清洗等,由于技術本身的原因,只能去除表面吸附的污物即外表面層,對內表面層(拋光變質層)沒有作用。
       電漿清洗機是近十幾年來發展起來的一項技術,由于其采用全干法、無污染處理效果好而廣泛應用。電漿清洗機中離子能量達到數百電子伏特,不僅可以去除表面吸附微細雜質,而且還可以對基片表面進行濺射拋光。等離子體處理可以降低基片表面粗糙度,去除加工變質層。
       射頻功率直接影響氣體電離的密度和離子的能量,進而影響等離子體對基片表面作用效果。等離子體表面處理是利用高能離子作用于基片表面,通過碰撞優先濺射掉表面松散原子層(即拋光變質層),又處理是在真空環境下進行,基片表面不易被污染,從而獲得新鮮的致密的真實表面,提高了超光滑光學表面的質量,有利于外延膜的生長。
       電漿清洗機處理前,液滴在基片表面沒有鋪展開,并且形狀不規則;經等離子體處理后,液滴在表面鋪展開,平均鋪展面積是處理前的4.6倍,并且形狀為規則圓形。這說明基片經等離子體處理后, 表面能得到提高而且變得均勻。
       瀝青拋光的基片表面必然存在加工變質層,等離子體處理可以濺射去除加工變質層,減少表面缺陷,大大提高了基片表面潔凈度和表面能,從而獲得新鮮致密均勻、平坦的超光滑表面。

相關等離子產品
等離子新聞
主站蜘蛛池模板: 色多多视频导航 | 国产在线欧美 | 澳门特级 片免费观看视频 久草最新在线 | 99精品国产在热久久 | www国产成人免费观看视频,深夜成人网 | 欧美1区| 日韩在线视频观看免费 | 久草香蕉 | 91免费电影| 91专区在线观看 | 精品福利视频一区二区三区 | 草草影院网站 | 国产欧美一区二区久久 | 精品一区二区三区在线观看 | 久草6 | 亚洲天堂视频在线观看 | 男女一起www免费高清视频 | 久久青青草视频 | 国产欧美在线视频 | 日韩久久精品 | 波多野结衣在线观看网址 | 九九色网站| 香港三级日本三级韩国三级韩 | 4hc44四虎www在线影院男同 | 国产极品久久 | 亚洲 欧洲 偷拍 校园 另类 | 91精品中文字幕 | 91免费视频 | 亚洲乱码视频在线观看 | 九九热国产视频 | 性XXXX18精品A片一区二区 | 日本久久精品免视看国产成人 | 一级做a爰片性色毛片视频图片 | 国产福利一区二区 | 亚洲成人久久久 | 欧美激情综合亚洲五月蜜桃 | 可米影院 | 午夜免费 | 国内精品伊人久久久影视 | 亚洲精品久久久久影院 | av色在线 |