工業(yè)領(lǐng)域使用的plasma設(shè)備的等離子體粒子是怎么形成的：
       作為物質(zhì)的第四態(tài)，等離子體因其獨特的離子效應、優(yōu)良的導電性、顯著的集體運動行為等特點，已經(jīng)在能源、信息材料、化工、醫(yī)療、空間物理等領(lǐng)域得到了廣泛的重視和使用。在等離子體應用和推廣的同時各領(lǐng)域也對plasma設(shè)備的設(shè)計提出了更多的要求。由于傳統(tǒng)直流等離子體發(fā)生器的能耗大，效率低下，新型高效等離子體發(fā)生器的設(shè)計研究越來越重要，以滿足現(xiàn)代工業(yè)更高的需求。
       針對傳統(tǒng)直流plasma設(shè)備存在的問題，設(shè)計一種高頻高壓等離子體發(fā)生器。該系統(tǒng)由移相全橋PWM控制模塊功率驅(qū)動模塊、高穩(wěn)定性雙諧振升壓模塊等模塊構(gòu)成，可以實現(xiàn)輸入電源效率的有效提升、驅(qū)動電路熱損耗現(xiàn)象的極大降低和等離子體的穩(wěn)定發(fā)生。

       當在感應線圈上施加高頻電場后部分空氣電離產(chǎn)生的帶電粒子做高速運動二次碰撞氣體原子形成電離并在垂直于磁場方向的截面上形成閉合環(huán)形渦流。根據(jù)等離子體渦流效應可知，電流的頻率越高磁通變化率越大感應電動勢越大渦流效果越顯著等離子體束越穩(wěn)定。由于高頻交變電流渦流效應的存在等離子體束具有趨膚效應。
      電流頻率越高穿透深度越小，趨膚效應越顯著，plasma中的帶電粒子越集中。在表層使表層電子密度增大，自吸現(xiàn)象(由發(fā)射體向外輻射的譜線為其自身的原子所吸收而使譜線中心強度減弱的現(xiàn)象)減弱，等離子體越穩(wěn)定。
因此當放電端的電壓和交變電流的頻率分別達到相關(guān)閾值時，能夠發(fā)生具有良好穩(wěn)定性和高電子密度的plasma諧振升壓電路對輸入信號升壓實現(xiàn)等離子體的穩(wěn)定發(fā)生。
       在高頻升壓電路的設(shè)計上，系統(tǒng)采用以LC諧振為理論基礎(chǔ)的高頻諧振固態(tài)特斯拉升壓電路。電路由低壓輸入端、主電容組、諧振通斷器、初次級線圈、放電端構(gòu)成可以在放電端形成高壓電場，以實現(xiàn)在高頻高壓條件下的等離子體發(fā)生。高頻高壓plasma設(shè)備系統(tǒng)，通過移相全橋控制電路提供控制信號在功率晶體管驅(qū)動下，經(jīng)高頻諧振升壓電路對輸入信號升壓實現(xiàn)等離子體的穩(wěn)定發(fā)生，實現(xiàn)了驅(qū)動管耗的降低和輸入電源效率的提升。