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玻璃基板用等離子體設(shè)備處理非但不改變表面活性還起到清潔效果：
當(dāng)玻璃基板處于等離子體中時，由于表層受到等離子體中荷能粒（電）子的轟擊，基板表面吸附的條件氣體、水蒸汽和污垢首先被轟炸，使表層潔凈活化，表層得到改善。沉積時，薄膜原子或大分子更好地滲透基板，增加范德華力。其次，玻璃基板表層受到荷能粒（電）子的沖擊，從微觀上看看，基板表層會建立許多凹坑和孔隙。在沉積過程中，薄膜原子或大分子進入這些凹坑，產(chǎn)生機械鎖緊力。此外，基板表層的粗化增加了實際表面積，有利于增加范德華力、擴散附著力和靜電力，從而增加了整體附著力。
玻璃用等離子體設(shè)備處理后，基板表層潔凈活化，改善表層，不僅有效清除吸附在玻璃基板上的條件氣體大分子、水蒸汽和污垢，在基板表層建立潔凈活化的微粗燥表層，而且避免二次污染。
用等離子體設(shè)備處理工程技術(shù)主要利用各種表面涂層和表面改性技術(shù)，賦予基體材料所不具備的特殊機械、物理或化學(xué)性能。如高硬度、高耐磨性、耐腐蝕性、耐高溫氧化性、抗輻射性等。此外，用等離子體設(shè)備表面工程技術(shù)是一種涉及機械、電子、化工、物料、真空、冶金、表層物理、固體物理、等離子體物理、電化學(xué)等學(xué)科的邊緣技術(shù)。它融入了這些學(xué)科的理論和最新的技術(shù)成果中。
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